用X射線(xiàn)衍射法可以測(cè)量出薄膜結(jié)構(gòu)的面間距，將測(cè)量值與材料的標(biāo)準(zhǔn)面間距相比可以求出薄膜的應(yīng)變，從而求出薄膜的內(nèi)應(yīng)力。為了使衍射峰不過(guò)于彌散，薄膜的厚度至少要數(shù)十納米以上。圖退火前后金剛石薄膜的X射線(xiàn)衍射圖。由圖可見(jiàn)，薄膜各晶面在退火前的峰位要大于退火后薄膜對(duì)應(yīng)的峰位的角度。根據(jù)測(cè)得的角度可用布喇格公式